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多晶硅鑄錠石英坩堝為什么要用熔融石英料

發(fā)布日期:2017-10-28 作者: 點(diǎn)擊:

    石英坩堝是由高純石英砂制成,二氧化硅含量超過99.9%,具有高溫不變形、耐化學(xué)侵蝕性好等特點(diǎn)。

    方形的高純石英坩堝用在多晶硅鑄錠環(huán)節(jié),充當(dāng)多晶硅化料和長晶的容器;圓形石英坩堝則用在單晶硅中拉制單晶。

熔融石英粉

    高純石英砂是生產(chǎn)石英坩堝的必要原料。單晶硅拉晶的成功率及晶棒品質(zhì)取決于多種因素,石英坩堝內(nèi)壁的氣泡含量就是其中重要因素之一。如果石英砂雜質(zhì)含量較多,在高溫熔制過程中容易產(chǎn)生黑點(diǎn)氣泡。在拉制單晶硅過程中石英坩堝會(huì)長時(shí)間處于高溫環(huán)境下,高溫會(huì)使石英坩堝內(nèi)壁所合氣泡受熱釋放,從而影響到拉晶的穩(wěn)定性和成功率。

    國際市場的競爭中,標(biāo)準(zhǔn)會(huì)對(duì)企業(yè)帶來巨大的影響?!禛B/T 32652——2016多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料》國家標(biāo)準(zhǔn)的研究與制訂,對(duì)于多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料生產(chǎn)有著巨大的促進(jìn)作用,也能夠?yàn)樯a(chǎn)廠家在國際市場上的競爭奠定良好的基礎(chǔ)。







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